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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品展示  >  材料界面化學(xué)儀器  >  真空等離子清洗機(jī)  >  半導(dǎo)體SPA-100真空等離子清洗機(jī)

真空等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:真空等離子清洗機(jī)的作用原理主要是:等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。

  • 產(chǎn)品型號(hào):半導(dǎo)體SPA-100
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-12-03
  • 訪  問(wèn)  量:9678

詳細(xì)介紹

產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子

 

   SPV100真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品簡(jiǎn)述

 ?。?.1)等離子清洗的作用原理主要是:

 ?。ˋ)對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。

  (B)激活鍵能,交聯(lián)作用等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。

 ?。–)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。

 

  (1.2)真空等離子清洗的優(yōu)勢(shì)等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。

  與傳統(tǒng)的一些清洗方法,如超聲波清洗、UV清洗等,以下優(yōu)點(diǎn):

  (A)處理溫度低處理溫度可以低至80℃、50℃以下,低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。

 ?。˙)處理全程無(wú)污染等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備,不產(chǎn)生任何污染,處理過(guò)程也不產(chǎn)生任何污染。

  (C)處理效果穩(wěn)定等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定,常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。

  (D)可以處理各種形狀的樣品對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品,等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實(shí)現(xiàn)對(duì)固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。



 


 

(1.2)產(chǎn)品原理等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成:控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。

        (A)控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)的功能在于控制整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行,包括人機(jī)界面(觸摸屏)、PLC、電氣電路。采用全自動(dòng)控制系統(tǒng)的真空等離子清洗,可實(shí)現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O(shè)備進(jìn)行控制,滿足不同客戶的需求。

  (B)激勵(lì)電源系統(tǒng):激勵(lì)電源主要有三類:40KHz的中頻激勵(lì)電源,13.56MHz的射頻激勵(lì)電源,2.45GHz的微波激勵(lì)電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵(lì)電源和中頻激勵(lì)電源。各自應(yīng)用場(chǎng)合不同。

 ?。–)真空腔體:真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的:1)鋁合金腔體,2)不銹鋼真空腔體,3)石英腔體。根據(jù)用戶的不同需求,可實(shí)現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。

 ?。―)工藝氣體系統(tǒng):SPV100真空等離子清洗機(jī)工藝氣體包括流量計(jì)、氣壓閥等,用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案,氬氣、氧氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等,可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。

 ?。‥)真空泵:真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵,油泵主要采用雙級(jí)旋片泵,根據(jù)用戶所采用的腔體體積工作效率、環(huán)境要求來(lái)制定真空泵的方案。

(2.1)技術(shù)參數(shù)

電源系統(tǒng)

晟鼎定制射頻電源:頻率13.56MHz;功率0~600W可調(diào);

全自動(dòng)真空電容匹配器

真空系統(tǒng)

晟鼎定制雙級(jí)旋片泵(油泵):60m3/h

可選配晟鼎定制羅茨泵250m3/h

真空計(jì):日本英福康皮拉尼真空計(jì)

真空管路:全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管

腔體系統(tǒng)

(可定制)

鋁合金真空腔體,高級(jí)焊接密封,25mm厚度

腔體內(nèi)部尺寸:450×450×500mm(寬×高×深)

電極板布置方式:水平布置,可活動(dòng)抽取

工作托盤(pán):可選配

空間層數(shù):8層

氣體系統(tǒng)

氣壓閥,日本SMC

流量計(jì),七星華創(chuàng)品牌,0~300SCCM

兩路工藝氣體:氬氣、氧氣

(氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳可選)

控制系統(tǒng)

PLC,德國(guó)西門(mén)子S系列

觸摸屏,威綸通,七寸屏幕

電氣部件:德國(guó)施耐德品牌

其它參數(shù)

外形尺寸:890×1745×1000mm(寬×高×深)

重量:400KG

顏色:銀灰色


(2.2)尺寸參數(shù)




 

(3)性能優(yōu)勢(shì)

(3.1)*電源:采用*高壓激勵(lì)電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。

(3.2)全面安全防護(hù):溫度安全防護(hù)功能,過(guò)載防護(hù)功能,短路斷路報(bào)警防護(hù)功能,各種誤操作保護(hù)功能。

(3.3)*放電技術(shù):特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。

(3.4)密封性的真空腔體設(shè)計(jì):高級(jí)的高真空度真空腔體設(shè)計(jì)及制造工藝,配置進(jìn)口真空泵。

(3.5)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品全部部件采用國(guó)內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件,確保設(shè)備性能*

(3.6)超低清洗溫度:滿足不同場(chǎng)合溫度要求,不對(duì)清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

(3.7)精密數(shù)控加工:進(jìn)口精密CNC數(shù)控機(jī)床加工工藝,并配備進(jìn)口三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)控。

(3.8)適用形狀復(fù)雜樣品:清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,包括內(nèi)孔內(nèi)壁,*均勻清洗


(4)案例及定制










 





 

 

 

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